Proceso liga

El Proceso LIGA Es un proceso Utilizado para la fabricación de Microsistemas, Las multas hacia Desarrollado de los años 70 en Kernforchungszentrum Karlsruhe (KfK). Este Proceso Se desarrolló originalmente en los cuadros de trabajo sobre la separación de los Isótopos de uranio. La sigla "LIGA" Proviene del alemán. Es una abreviación para "Röntgenlithographie, Galvanoformung, Unbformung", Diferentes etapas de este Que Representan Las Proceso:

• La litografía de rayos X: a partir de una primera máscara realizada con la ayuda de un cañón de electrones, el patrón en dos dimensiones de las microestructuras es duplicado por litografía de rayos X sobre una capa de polímero fotosensible. El espesor y el material de la máscara como el tamaño de las micro estructuras determinan el máximo espesor de la capa de polímero. El patrón es a Continuación revelado para poder pasar a la etapa siguiente.
• La Galvanización por electro deposición: es el metal Depositado sobre las microestructuras reveladas precedentemente, sobre todo el espesor de la capa de polímero remanente. La estructura Así obtenida sirve Directamente a la formación en la etapa siguiente si el espesor es lo Suficiente para la Aplicación prevista (es de metal Depositado el entonces el níquel u otras aleaciones de níquel, las Cuales Presentan una buena conductividad y las Cualidades Requeridas para una electro deposición de calidad, como así buenas propiedades mecánicas para el conformado), entonces el hijo o utilizadas en tanto que la máscara para repetir la primera etapa de litografía de rayos X, a fin de Obtener estructuras más gruesas (Depositado el metal es el oro, Excelentes Cualidades que presentaciones electrónicas para la electro deposición Así como una alta absorción de rayos X).
• El conformado: Después de la disolución del polímero remanente Alrededor del Cual se ha desarrollado la Galvanización, el bloque de metal es preparado para servir de herramienta de formación. SE PUEDEN entonces fabricar en serie de micro estructuras en polímero por formación (en las matrices, estampado o moldeado por inyección).

Este Procedimiento Permite fabricar microestructuras relativamente gruesas (hasta 1 mm de espesor) en series pequeñas o medianas. Explotar Se puede no solamente con el silicio, Y también pero sobre todo con muchos materiales para realizar microestructuras en 3D como metales, cerámicos, Y también de los vidrios y polímeros lo que amplía considerablemente el campo de aplicación de los MEMS. En este método el material Constitutivo de la microestructura Va a ser Depositado solamente sobre las Zonas donde se construirá. A continuacion el molde se disuelve químicamente. Se Utilizan Algunas Polímeros fotosensibles para la realización de los moldes según un método fotolitográfico clásico (pero invertido puesto que el polimero Desempeña el papel fotoresistivo negativo).

Aplicaciones

• Micromotores
• Microactuadores electroestáticos o electromagnéticos
• Microcaptadores de aceleración
• Microcaptadores de distancia
• Microespectrómetros

Roberto Jesús Rojas

CI: 14908981

Asignatura: CRF

Fuente de información: Wikipedia La Enciclopedia Libre

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